Известный производитель оборудования для полупроводниковой промышленности ASML Holding NV объявила на днях, что с помощью ее нового литографического сканера серии Twinscan i-Line одним из "постоянных тайваньских заказчиков" был установлен новый мировой рекорд по скорости обработки подложек диаметром 300-мм. При средней скорости сканера в 150 подложек в час, за 24 часа непрерывной работы было обработано 3596 кремниевых пластин.
Сканеры линейки Twinscan обладают запатентованной системой параллельной обработки подложек. В то время, когда на одну из подложек наносится рисунок, следующая подложка уже проходит всю необходимую метрологическую подготовку, процесс обработки, таким образом, становится непрерывным.
Кроме того, компания заявила, что в первой половине 2007 года она продала тридцать сканеров линейки Twinscan для обработки 300-мм подложек, т.е. больше чем за весь прошлый год. Рекордное число подложек было обработано на 365-нм сканере Twinscan XT:400F, проектная мощность которого составляет 135 подложек в час.
