|
| :: Системные программы - Расширения системы - FilmElli v |
 |
|
|
|
 FilmElli v 2.16  0/0
|
Решает обратную задачу эллипсометрии.
Для:
- любой длины волны излучения;
- неограниченного числа опытных пар Psi и Delta, полученных при различных углах падения луча;
- любого количества моделей (экспериментов с иммерсионными средами, с различными подложками, с разными толщинами неизвестного слоя и т.д.);
- неограниченного количества искомых параметров (показатель преломления, экстинция, толщина) любых слоев;
- любого количества слоев в модели покрытия.
Предоставляет возможность введения в целевую функцию весового множителя, обеспечивающего более жесткое слежение за параметром Psi или Delta.
Решает прямую задачу эллипсометрии с графическим представлением зависимостей Psi(fi) и Delta(fi) для экспериментальных пар Psi, Delta и рассчитанных по "предложенной" и оптимизированной моделям многослойного покрытия.
|
| |
|
| |
